Halbleiter & Photovoltaik

Strukturierte Substrate kommen in der Erforschung und Entwicklung von Halbleitern und im Bereich der Photovoltaik-Forschung zum Einsatz. Hohe Anforderungen an Qualität und Zuverlässigkeit an derartige Bauelemente machen es zunehmend erforderlich, deren inhärente Spannungen und kristallinen Eigenschaften genau zu kennen. Die bildgebenden Verfahren der WITec-Instrumente ermöglichen eine detaillierte Analyse der chemischen und physikalischen Eigenschaften solcher Proben.

Die vielseitigen Instrumente von WITec nutzen verschiedene bildgebende Verfahren, um aus den  Messdaten möglichst umfassende Erkenntnisse zu gewinnen. Verschiedene Kombinationen können in einem Mikroskop-Aufbau miteinander kombiniert werden: konfokales Raman-Imaging, Rasterkraftmikroskopie (AFM), optische Nahfeld-Mikroskopie (SNOM) und Rasterelektronenmikroskopie (SEM). Konfokales Raman-Imaging liefert chemische Informationen, AFM detektiert Topographie, Struktur und physikalische Eigenschaften wie Steifigkeit und Adhäsion der Probenoberfläche. SNOM dagegen ermöglicht hochauflösende Messungen jenseits der Beugungsgrenze. Die Konfigurationen sämtlicher WITec-Instrumente können auf- bzw. nachgerüstet werden, so dass die Systeme um neue Analyseverfahren erweitert werden können.